单晶硅/多晶硅铸锭炉
直拉单晶硅生长炉
2015-03-06 09:37:50
产品名称 : KD-TX301
产品材质 : 石墨+合金
工艺 : ISO-9001
检测设备 : 三次元检测
生产工时 :
客户 : 全球

   熔炼炉主要由晶体提拉控制系统、晶体旋转控制系统、真空泵操作控制系统、晶体生长温度控制系统等几部分组成操作控制系统、晶体生长温度控制系统等几部分组成。采用先进的驱动、传动技术及配套装置;采用特殊工艺及材料制作的密封装置;采用可靠的水冷系统装置;使籽晶杆运转平稳,无爬行和振动。同时采用了高精度可编程的炉温控制装置,实现了炉温自动控制。并设有手动快速升降装置,使用方便,是生长高熔点人工晶体的理想设备。

主要技术参数

 

名 称 单 位 指标数
最高炉温 2100
籽晶杆拉速 mm/h  0.5~60
籽晶杆转速 rpm 1~50
籽晶杆行程 mm 600
冷炉极限真空度 Pa 6.67x10-3 
冷却水压 MPa 0.15~0.2
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