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单晶硅/多晶硅铸锭炉
直拉单晶硅热场（剖面图）
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- 产品名称 : 直拉单晶硅热场
- 产品材质 : 石墨+合金
- 工艺 : ISO-9001
- 检测设备 : 三次元检测
- 生产工时 :
- 客户 : 全球
详细描述
熔炼炉主要由晶体提拉控制系统、晶体旋转控制系统、真空泵操作控制系统、晶体生长温度控制系统等几部分组成操作控制系统、晶体生长温度控制系统等几部分组成。采用先进的驱动、传动技术及配套装置;采用特殊工艺及材料制作的密封装置;采用可靠的水冷系统装置;使籽晶杆运转平稳，无爬行和振动。同时采用了高精度可编程的炉温控制装置，实现了炉温自动控制。并设有手动快速升降装置，使用方便，是生长高熔点人工晶体的理想设备。
主要技术参数
| 名 称 | 单 位 | 指标数 |
| 最高炉温 | ℃ | 2100 |
| 籽晶杆拉速 | mm/h | 0.5～60 |
| 籽晶杆转速 | rpm | 1～50 |
| 籽晶杆行程 | mm | 600 |
| 冷炉极限真空度 | Pa | 6.67x10-3 |
| 冷却水压 | MPa | 0.15～0.2 |
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